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eni维修射频电源匹配器维修包括：pecvd、mocvd、ion imp,plasma的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、rpsc、chiller等。电源维修的时候，我们需要利用万用表检测一下各功率器件是否存在击穿短路，例如电源整流桥堆、开关管、高频大功率整流管、抑制浪涌电流的大功率电阻是否烧断等，然后需要再检测各输出电压端口电阻是否异常，如上述器件有损坏的情况我们则需要进行更换新的器件