ulvac rf generator rfs-1305a3专业维修
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射频电源维修注意事项：
在更换完器件后,上电前应对其相关器件进行测量,是否出现短路现象(如整流桥、igbt管、电源输入输出部分、功率器件输入输出等等);
对于机器工作不稳定或工作时好时坏,可检查箱内主电路的螺钉、接线端子等等是否松动(在运输中有可能会出现)、接线端氧化等,老电源或使用环境差的电源应注意内部是否积了很多灰尘(可用风枪吹掉);如箱内积有很多油污且使用期很长,不可修复应报废处理
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