seren r601射频电源专业维修中心 600w
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l系列低频电源：l301、l601、l1001、l2001、l3001、l5001i系列射频电源
用于icp领域at系列自动匹配器：at-3、at-6/100、at-6/500、at-10、at-20、at-30、at-50/120、at-50/140、at-100/160、at150/180、at-250/250射频电源维修：ae，seren，spellman，glassan，ims，mdx、mdxii、pinnacle、diamond系列，电镀电源，刻蚀射频电源，re，pecvd，rie,pecvd,icp,射频溅射，cvd和pvd等
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